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液態氣體
 

液態氣體

1、高純液氧

雜質含量

Ar

N2

CH4

CO2

≥99.995%

PPM

5

10

2

1


2、高純液氬

雜質含量

N2

H2

O2

CO2

CH4

H20

≥99.995%

PPM

4

1

1

1

1

2.6


3、純液氬

雜質含量

N

O2

H2

總碳

≥99.995%

PPM

100

15

5

10


4、純液氮

雜質含量

O2

高純液氮

≥99.995%

PPM

5

≥99.995%

%

0.01


5、液體二氧化碳

液體二氧化碳

≥99.995%

 

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